核心优势

• 支持普通模式与减速模式双工作模式
• 配备顶位二次电子探测器（Top SE），实现超低电压（500 V）高分辨成像
• 集成背散射电子探测器（BSD），同步获取形貌、成分及晶粒取向衬度
• 兼容导电不良样品（如氧化物、聚合物、电池材料）的高质量观察
• 标配高性能iXRF 电制冷能谱仪（EDS），支持元素定性与定量分析

成像模式与信号探测

典型应用与成像效果

• 氧化锌粉末（导电不良）：着陆电压 1 kV，倍率 120,000×，清晰显示颗粒形貌
• 阳极氧化铝（导电不良）：着陆电压 500 V，倍率 70,000×，纳米孔结构清晰可见
• 碳表面 Au 颗粒：1 kV 下分辨率达 2 nm
• 电池阳极材料：BSD 探头成像，8,000× 下展示成分分布与微观结构

iXRF 电制冷能谱仪（EDS）

• 制冷方式：电制冷（无需液氮）
• 能量分辨率：Mn Kα 处 ≤ 128 eV
• 元素范围：Be (4) – Pu (94)
• 有效活区面积：≥ 30 mm²
• 最大计数率：输出 ≥ 500,000 CPS，输入 1,000,000 CPS
• 峰背比：> 20,000:1
• 图像采集分辨率：最高 4096 × 4096 像素
• 特色功能：集成微型 X 射线管，支持 EDS 与 XRF 联合定量分析；支持 3D 面分布浏览

SU5000 = 高分辨 + 低电压 + 多信号 + 易操作

特别适用于纳米材料、能源材料、半导体、生物样品等对电子束敏感或导电性差的样品研究

制造商：日立高新技术公司（Hitachi High-Tech）