Rigaku SmartLab 9kW 组合式X射线衍射仪
高性能多功能XRD平台,支持粉末、薄膜、微区、高低温等全方位物相与结构分析
核心优势
- 9 kW 高功率 Cu 旋转阳极 X 射线源,提供高强度、高稳定性衍射信号
- θ-θ 样品水平测角仪设计,兼容各类样品形态(粉末、块体、薄膜)
- 配备 Hypix-3000 超高速二维面探测器,实现快速数据采集与织构分析
- 集成 CBO 交叉光束光学系统,一键切换平行/聚焦光路
- 支持 微区测量、薄膜反射率(XRR)、面内取向、高低温原位实验 等高级功能
核心硬件配置
| X射线源 |
9 kW 高频发生器 + Cu 旋转阳极 |
| 测角仪 |
θ-θ 广角测角仪(样品水平) |
| 探测器 |
Hypix-3000 超高速二维面探测器 |
| 光学系统 |
CBO 交叉光束单元(含多层镜、DC 镜远程控制) |
| 分析晶体 |
Ge(220) 2-bounce channel-cut 晶体(入射端) |
高级功能附件
- Rx-Ry 薄膜微调样品台: Rx/Ry 轴 ±5°(精度 0.002°),用于精确对准
- 面内测量附件(In-plane geometry): 支持 2θχ 扫描(范围 -3° ~ +120°),用于薄膜取向分析
- 微区测量附件: CBO-F 聚焦光路 + X-Y-Z 微区样品台 + CCD 相机
- 高温附件 HTK1100: 自动控温,最高 1100°C(真空/大气)
- 中低温附件 DCS350: 温度范围 -100°C ~ 350°C(需用户自备液氮)
软件与数据分析
- 标准软件: 仪器控制、数据采集与基础分析
- Global Fit XRR: 薄膜厚度、密度、界面粗糙度拟合
- 3D Explore: 三维倒易空间可视化
- ICDD PDF-2 数据库: 含 Search-Match 定性分析、RIR 定量分析、晶胞参数精修等功能
典型应用: 多晶物相鉴定、晶粒尺寸与微观应变分析、薄膜结构表征、外延取向、残余应力、原位高低温相变研究
技术规格摘要
| X射线功率 |
9 kW (Cu) |
| 测角仪类型 |
θ-θ 水平样品台 |
| 探测器 |
Hypix-3000 二维面探测器 |
| 高温范围 |
RT ~ 1100°C |
| 低温范围 |
-100°C ~ 350°C(需液氮) |
制造商: Rigaku Corporation(日本理学)