仪器设备

公共仪器

XRD

Rigaku SmartLab 9kW 组合式X射线衍射仪

高性能多功能XRD平台,支持粉末、薄膜、微区、高低温等全方位物相与结构分析

SmartLab XRD 系统

核心优势

  • 9 kW 高功率 Cu 旋转阳极 X 射线源,提供高强度、高稳定性衍射信号
  • θ-θ 样品水平测角仪设计,兼容各类样品形态(粉末、块体、薄膜)
  • 配备 Hypix-3000 超高速二维面探测器,实现快速数据采集与织构分析
  • 集成 CBO 交叉光束光学系统,一键切换平行/聚焦光路
  • 支持 微区测量、薄膜反射率(XRR)、面内取向、高低温原位实验 等高级功能

核心硬件配置

X射线源 9 kW 高频发生器 + Cu 旋转阳极
测角仪 θ-θ 广角测角仪(样品水平)
探测器 Hypix-3000 超高速二维面探测器
光学系统 CBO 交叉光束单元(含多层镜、DC 镜远程控制)
分析晶体 Ge(220) 2-bounce channel-cut 晶体(入射端)

高级功能附件

  • Rx-Ry 薄膜微调样品台: Rx/Ry 轴 ±5°(精度 0.002°),用于精确对准
  • 面内测量附件(In-plane geometry): 支持 2θχ 扫描(范围 -3° ~ +120°),用于薄膜取向分析
  • 微区测量附件: CBO-F 聚焦光路 + X-Y-Z 微区样品台 + CCD 相机
  • 高温附件 HTK1100: 自动控温,最高 1100°C(真空/大气)
  • 中低温附件 DCS350: 温度范围 -100°C ~ 350°C(需用户自备液氮)

软件与数据分析

  • 标准软件: 仪器控制、数据采集与基础分析
  • Global Fit XRR: 薄膜厚度、密度、界面粗糙度拟合
  • 3D Explore: 三维倒易空间可视化
  • ICDD PDF-2 数据库: 含 Search-Match 定性分析、RIR 定量分析、晶胞参数精修等功能

典型应用: 多晶物相鉴定、晶粒尺寸与微观应变分析、薄膜结构表征、外延取向、残余应力、原位高低温相变研究

技术规格摘要

X射线功率 9 kW (Cu)
测角仪类型 θ-θ 水平样品台
探测器 Hypix-3000 二维面探测器
高温范围 RT ~ 1100°C
低温范围 -100°C ~ 350°C(需液氮)

制造商: Rigaku Corporation(日本理学)